MEMS技術類似于半導體技術，但是它用于傳感器和微型機械組件，而不是電子芯片。MEMS技術的眾所周知的應用是安全氣囊傳感器，噴墨頭，壓力傳感器，麥克風，指南針，加速度計，陀螺儀和時基振蕩器。例如，智能手機包含許多MEMS組件，并且熱流量傳感器已廣泛用于空調系統中。

　　MEMS芯片由晶圓制成。晶圓是由硅或玻璃制成的極其扁平的圓盤。典型的晶片的厚度為0.5毫米，直徑為6英寸。MEMS技術就是在某些區域添加層并刪除這些層。所施加的層可以是非常高質量和堅固的材料。氮化硅就是這種材料的一個例子，它是通過低壓化學氣相沉積（LPCVD）施加的，并且在800C左右的溫度下進行。

　　光刻用于定義需要去除的區域。在光刻中，光致抗蝕劑層沉積在晶片的表面上。光致抗蝕劑通過在其表面上照射光而發生化學變化，并在顯影液中有選擇地除去。

　　科里奧利傳感器的優點

　　大多數MEMS流量傳感器都基于熱測量原理。已經證明，這種傳感器能夠以每分鐘幾納升的速度測量液體流量。這些傳感器的優點是它們快速且非常穩定。缺點是需要針對每種特定的流體進行校準。

　　科里奧利類型的流量傳感器，即包含振動管的流量傳感器不存在這個問題，在該振動管中，質量流受到科里奧利力的作用。由于科里奧利流量傳感器測量的是真實質量流量，因此科里奧利力與質量流量成正比，并且不受溫度，壓力，流量分布和流體特性的影響。

　　科里奧利流量計主要用于測量大流量（每小時大于1千克），因為相對較弱的科里奧利力相應地更難檢測小流量。為了獲得足夠的靈敏度來測量每小時2克以下的超低流量，需要將傳感器尺寸和管壁厚度最小化到極限，這是常規的不銹鋼加工所無法實現的。

　　MEMS技術在這里發揮了作用。我們與特溫特大學密切合作開發的一種稱為表面通道技術的工藝可以制造具有1微米薄的氮化硅壁的管。材料的選擇使這些管即使在極薄的壁厚下也具有機械穩定性。

　　MEMS科里奧利傳感器的工作原理

　　在下圖中，說明了基于MEMS的科里奧利傳感器的工作原理。演示模型中內置的傳感器基于此技術。該演示模型可以測量和控制每小時0.01克至2克的氣體和液體流量。作為MEMS技術的另一個優勢，儀器內部的科里奧利管的尺寸非常小，以至于管的共振頻率在kHz范圍內。與傳統的不銹鋼科里奧利儀器相比，這降低了對外部振動的敏感性。

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